用語集

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紫外線露光

ultra-violet light exposure
UVリソグラフィ。UV 露光ともいう。マスクパターンをウェハ上に転写するIC の露光工程で、紫外線領域の波長の光源を用いた露光法。i 線(波長365nm)ステッパなどがある。