用語集

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ポリサイド

polycide
ゲート電極構造の一つ。プロセスの微細化に対応したゲート抵抗の低抵抗化のために用いる。ポリシリコン(多結晶シリコン)とCVDあるいはスパッタリングで形成したシリサイド(ケイ素化合物)を重ねた構造。タングステンシリサイド(WSi2)、コバルトシリサイド(CoSi2)、チタンシリサイド(TiSi2)などがある。