用語集

検査治具のQMS TOP | 用語集 | デポジション

デポジション

deposition
堆積。IC 製造工程では薄膜を堆積する工程をいう。気相成長法(PVD、CVD、真空蒸着やスパッタリング法)を用いる。このほか膜形成の手段には、印刷法、スピンコート法、メッキ法などもある。かつては印刷法(スクリーン印刷)は厚膜形成、蒸着法などは薄膜形成と分かれていたが、最近ではスクリーン印刷法でも金属薄膜が形成できるようになった。