用語集

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統計的なゆらぎ

macroscopic fluctuation/statistical fluctuation
微細な大規模ICにおいて、不規則に発生する素子特性のばらつき(ゆらぎ)。微細化の進展によって、従来は無視できたような製造上の加工ばらつき(素子形状や不純物分布など)が、先端デバイスでは素子特性に影響するなど、問題として顕在化してきている。