用語集

超純水

Ultra-Pure Water
電気伝導度、固形微粒子数、生菌数、有機物などを極端に低い値に抑えた純粋な水。LSIの各製造工程において、ウェーハの清浄に用いられる。半導体の集積率の向上にあわせ超純水のグレードも高くなってきている。