用語集

検査治具のQMS TOP | 用語集 | ダイシング

ダイシング

dicing
ウェハ製造工程で完成したウェハ上のチップを,スクライブラインに沿ってダイヤモンドカッタ(ブレード)で切断し,個々のチップに分割する工程。ダイシングには,ウェハ切断時にウェハの厚みを一部残して切り込むハーフカット法と,完全に切断するフルカット法とがある。