用語集

拡散層

diffusion layer
半導体表面から熱的な方法またはイオン注入によって不純物原子を注入すると、深さ方向に濃度勾配をもった層(p 型、n 型の層)ができる。この層のことを拡散層という。拡散層中での不純物原子の濃度は均一でなく、内部にいくにしたがって薄くなる。このため拡散層の評価は表面濃度(シート抵抗)、拡散層深さなどで行う。IC の中で拡散層は抵抗や配線などにも使われている。