用語集

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エアギャップ

air-gap
多層配線における絶縁方法の一つで、層間絶縁膜の代わりに空気の隙間(空隙、エアギャップ)を形成し利用するもの。微細化による配線間容量増大にともなって発生するシグナルインテグリティの劣化への一対策として、層間絶縁膜の誘電率を通常の酸化膜(SiO2)の値よりも下げた膜(Low-k膜)を用いる場合がある。それをさらに進めて最も誘電率の低い空隙を配線間の絶縁としている。