用語集

検査治具のQMS TOP | 用語集 | 位相シフトマスク

位相シフトマスク

phase-shifting mask(PSM)
光の位相や透過率を制御することで、解像度や焦点深度(DOF:Depth of Field)を改善し、転写特性を向上させたフォトマスク。露光波長以下のリソグラフィには標準的に使われる。「ハーフトーン型」(Attenuated PSM)や「レベンソンマスク」(AlternativePSM)などがある。これに対して、従来の通常のフォトマスク(クロムマスク)は、光を透過する/遮断するという機能だけのため、バイナリマスクという。
 → 光学近接効果補正、超解像、レベンソンマスク、リソグラフィ