用語集

TFT

thin film transistor
薄膜トランジスタ。ガラスなどの絶縁基板上にCVD(Chemical Vapor Deposition:化学的気相成長)技術やスパッタリング技術で形成したトランジスタ。構造は通常のMOSトランジスタと同じ。シリコン単結晶を用いる通常のトランジスタやICと区別するために薄膜トランジスタと呼ぶ。薄膜にはアモルファスシリコンや多結晶シリコンが使われる。単結晶シリコンに比べて移動度は小さい。しかし、大面積化が可能といった利点を生かして、LCD の画素スイッチなどに使用される。最近ではペンタセンなど有機材料を用いた有機TFTも開発されている。
→CVD、HTPS、LTPS