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SMIF(スミフ)

standard of mechanical interface
ウェハカセットの搬送・保管用のケース(ポッド)。この中に収納したウェハはクリーン度を保つことができる。高度なクリーンルーム内でなくてもICの製造(前工程)が可能になる。このため「局所クリーン化技術」ともよばれる。
→FOUP、クリーンルーム