用語集

 RET

resolution enhancement techniques
解像度向上技術。フォトリソグラフィ工程における微細パターンの忠実性を確保するため、位相シフトマスク(PSM)や光学近接効果補正(OPC)などの技術が用いられているが、これらを指す言葉として総称的にRETと表現される場合が多い。
→リソグラフィ、位相シフトマスク、光学近接補正