用語集

MO-CVD

metal organic-chemical vapor deposition
有機金属化学的気相成長法。蒸着したい金属を炭化水素基と結合させ(有機金属)、気化や輸送を容易にする。反応チャンバ内で、プラズマや熱などで反応性ガスを励起し、化学反応を促進する薄膜成長法。