用語集

 LER

line edge roughness
微細加工工程において、フォトリソグラフィ現像後やエッチング加工後のパターン側壁端部が凹凸状になり、本来所望の直線形状からずれてばらつく現象。プロセス管理上だけでなく、デバイス特性へも悪影響を与える一要因であり、トランジスタ形成工程と、ヴィアを含む配線工程で問題となる場合が多い。