用語集

 FIB

focused ion beam
集束イオンビーム。イオンビームと試料の相互作用によって顕微鏡、加工(研磨)、堆積(デポジション)、イオン注入などの機能を実現する。イオン源にはガリウム(Ga)などがある。たとえば、ビーム径を5 ~ 10nmに集束させた装置は、フォトマスクのパターン修復やIC の不良個所の解析、高分解能観察、MEMSなどの微細加工などに利用されている。
→MEMS、イオン打ち込み、イオンビーム