用語集

EUV

extreme ultra violet
極端紫外線。光の中で紫より短い波長の光を紫外線と呼ぶ。大気によって吸収されはじめる波長200nmから0.2nmの波長域を真空紫外(VUV)域、透明な固体結晶がなくなる105nm以下の波長域を極端紫外(EUV)域と呼ぶ。0.2 ~ 30nmは軟X 線域とも呼ぶ。EUVリソグラフィは、波長13nm の極端紫外線を用いて縮小投影露光を行う。
→リソグラフィ