用語集

 EOT

equivalent oxide thickness
酸化膜換算膜厚。実際の物理的な膜厚を、SiO2の酸化膜厚に換算した値のこと。例えば、絶縁膜としてSiO2よりも誘電率の高い膜(High-k膜)を使うと、物理的な膜厚が大きくでき、リーク電流を減らすことができる。一方、その膜厚をSiO2に換算すると、微細化のスケーリング則に応じた薄膜化を実現したことになる。
→SiO2、High-k、スケーリング則